日本廠家 HORIBA 堀場 電率計 HE-480C-GC 高穩定性
2024-12-03 10:51:07
fujino
半導體用面板支架48/96系列
HE-480C-GC
0-9999μS/cm（溫度補償前）
HE-960LC
0-10000μS/cm（溫度補償前）
HE-960LF
FS-09F-1/2
0-10000μS/cm（溫度補償前）
※最適合粘性高的樣品液（CMP Slurry等）
HE-960HC
0-1000mS/cm（溫度補償前）
平面碳傳感器導電率計
HE-960LF / FS-09F-1/2
是最適合采用耐化學藥品性高的扁平碳傳感器的漿料濃度管理的導電率計。
通過維持適當的導電率值，保持漿料的稀釋程度一定，為晶片研磨工序的穩定化做出貢獻。
特征
高穩定性
測量范圍為0～2,000μS/cm和0～10,000μS/cm，重復性分別為±0.5%F/S和±1.0%F/S，具有高穩定性。
規格
■指示轉換器
| 產品名稱 | 電導率儀 | |||
|---|---|---|---|---|
| 模型 | HE-960LF | |||
| 測量方法 | 2 電極電導率測量 | |||
| 溫度傳感器規格 | 測溫電阻1000Ω（0℃時） | |||
| 測量范圍 | 電池常數 | 0.1/cm時 | 1.0/cm時 | |
| 電導率儀 | 0.00～20.00μS/cm | 0.0～200.0μS/cm | ||
| 0.0～200.0μS/cm | 0～2000μS/cm | |||
| 0～1000μS/cm | 0～10000μS/cm | |||
| *通過改變溫度補償前的電導率測量范圍設置來切換范圍 | ||||
| 溫度 | 0～100℃ 但根據傳感器規格（小數點后可選擇1位或2位） | |||
| 濃度換算 | 可選 1、2 | 0至10.000%（轉換公式由用戶設定） | ||
| 重復性 | 電池常數 | 0.1/cm時 | 1.0/cm時 | |
| 電導率 | 0.00～20.00μS/cm量程 | 0.0～200.0μS/cm范圍 | ±0.5% 滿量程以內 | |
| 0.0～200.0μS/cm范圍 | 0～2000μS/cm范圍 | |||
| 0～1000μS/cm范圍 | 0～10000μS/cm范圍 | ±1.0%滿量程以內 | ||
| 溫度 | ±0.5℃以內 | |||
| 狀況 | 具有等效輸入 | |||
| 線性度 | 電池常數 | 0.1/cm時 | 1.0/cm時 | |
| 電導率 | 0.00～20.00μS/cm量程 | 0.0～200.0μS/cm范圍 | ±0.5% 滿量程以內 | |
| 0.0～200.0μS/cm范圍 | 0～2000μS/cm范圍 | |||
| 0～1000μS/cm范圍 | 0～10000μS/cm范圍 | ±1.0%滿量程以內 | ||
| 溫度 | ±0.5℃以內 | |||
| 任意濃度 | 具有等效輸入 | |||
| 變速輸出 | 輸出點數：4點 DC4-20mA/0-20mA 輸入輸出隔離型 最大負載電阻：900Ω 變送輸出范圍：在測量范圍內任意設定 （各變送輸出負端內部連接，具有相同的潛力） | |||
| 接點輸出 | 輸出點數：5點 報警接點輸出（R1至R4） 接點類型：繼電器接點、SPST（1a） 接點容量：AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A （電阻負載） 接點功能：各測量對象的上下限動作（ON/OFF 控制）、延遲時間 接點動作：動作時間、常開（包括斷電） （但是，R1、R2、R3 與公共觸點） 報警觸點形式：繼電器觸點，SPST（1c） 觸點容量：AC 240 V 1 A，DC 30 V 1 A （阻性負載） 接點功能：錯誤、異常報警、維護中選擇 接點動作：C與NO之間使用時，正常時閉合，異常時（包括停電）時打開 ?（C與NC之間使用時，接點狀態相反） ） ?（不過R4和RF是通用的聯系COMMON） | |||
| 接點輸入 | 輸入點數：1點 | |||
| 輸入形式：集電極開路無電壓a接點 | ||||
| 接點功能：傳送輸出保持 | ||||
| 通訊輸出 | RS-485輸入/輸出 | |||
| 校準功能 | 通過輸入電導池常數校正系數（參數輸入） 與溫度參考溫度計進行比較校準 | |||
| 傳送輸出保持功能 | 選擇前一個值保持或任意值保持 （但是，在維護模式下，將保持前一個值） | |||
| 自診斷功能 | 傳感器診斷（溫度傳感器短路、溫度傳感器斷線）轉換器故障 | |||
| 電導率溫度補償 | ●輸入任意溫度系數（參考溫度：5～95℃，溫度系數：0～5%/℃） ●輸入任意溫度補償公式（補償公式由用戶設定） ●無溫度補償 | |||
| 溫度補償范圍 | 0～100℃（但0℃以下、100℃以上時計算范圍擴大） | |||
| 環境溫度 | 5～45℃ | |||
| 相對溫度 | -25～65℃ | |||
| 電源 | 額定電壓 DC24V 10W（最大） | |||
| 結構 | 面板安裝 室內安裝類型 面板外殼：ABS，端子部分：PBT 面板部分防滴結構 | |||
| 兼容標準 | CE標志 | EMC 指令：EN61326-1 | ||
| FCC法規 | FCC 第 15 部分 | |||
| 重量 | 約550克 | |||
| 外形尺寸 | 96（寬）× 96（高）× 115（深）毫米 外殼深度：約 105 毫米（安裝在面板上時） | |||
| 兼容傳感器 | FS-09F-1/2 | |||
傳感器
| 格式 | FS-09F-1/2 | FS-09F-1/2-200 |
|---|---|---|
| 液接部材料 | 玻碳 PFA Kalrez? | |
| 配管尺寸 | 1/2 英寸 | |
| 樣品流速 | 0～10L/min的流量沒有影響 ，但要保證樣液更換所需的流量和溫度。 | |
| 樣品壓力 | 0～0.3MPa 但20～30℃ | |
| 樣品溫度 | 如果環境溫度20～30℃ 與液體溫度相差5℃，就會出現1℃左右的測量誤差。 | |
| 電纜長度 | 約3.5m | |